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“欢迎大家来到紫薇半导体的发布会!”

高岚从幕后走上了舞台,穿着一身正装。

聚光灯也纷纷打在她身上,摄像师大哥们已经将镜头对准了。

台下顿时响起一片热烈的掌声,掌声过后,高岚这次开口道:

“谢谢各位观众,在开始我们今天的主题前,我这里有一些前话需要介绍一下。”

“大家应该都知道芯片的制造设备光刻机吧,这是工业明珠上的一个皇冠,在今天的半导体领域发挥着不可估量的作用,也就是我们所说的光刻法。”

“在半导体技术的发展过程中,器件的特征尺寸越来越小,光刻工艺也变得越发复杂,而这也导致了下一代光刻技术的成本不断增加。追求特征尺寸的缩小,就需要减小曝光波长。

在比DUV和EUV更先进的下一代光刻技术中,电子束光刻已被证明有非常高的分辨率,但其生产

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