第338章 EUV光刻机研发,先奖5000万!邓小岩感动了?
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科研,如逆水行舟,不进则退。
70纳米光刻机研发成功,难道陈皓心里不高兴吗?
当然高兴。
但他心里很清楚,这点领先远远不够。
他要的是……
碾压!
让欧美绝望的碾压!
另一边,听到陈皓这么说,众人神情一滞。
第二轮研发?
“浸润式光刻机极限是多少纳米?”陈皓看向众人。
“45纳米?”
“我觉得能到30纳米左右。”
一群科学家七嘴八舌。
对他们而言,更高精度没深入研究,主要靠自身认知推测,给不了准确答案。
“大胆一点!”
陈皓一字一顿道:“一旦解决光源问题,加上更多细节提升,极限能达到7纳米!”
哗!
此话一出,众人皆惊。
要知道,他们刚研发出来的,精度只有70纳米而已。
7纳米光刻机!
提高多少?
简直是骇人听闻!
当然,用同样的浸润式技术,想达到7纳米极限精度,会有一个漫长过程。
“校长。”陈皓沉声喊道。
“到!”
谢武立刻上前。
其他场合,他称呼陈皓为小陈,但在今天这场合……
陈皓如将军。
他为士兵。
士兵必须听命于将军——军令如山!
“由你牵头组建团队,对浸润式光刻机深度研发,开发深紫外光技术。”陈皓下达指令。
经过第一轮研发,浸润式技术已经成熟。
提高精度的核心是光源。
当然,其他方面也要提升,但难度相对低很多。
“是!”谢武激动坏了。
深紫外光?
他听过,却没有相关研究。
以他对陈皓的了解,肯定会给出技术资料,而他也将有机会成为,该领域研发第一人!
“陈总,这……”
杜杨和顾经纶傻眼了。
新一轮研发中,谢武直接组建团队,他俩难道要打下手?
莫非……
谢武是上交大校长,跟陈总有师生之名。
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